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SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法

  • 專利類型:外觀專利
  • 有效期:2020-04-15至2022-04-15
  • 發布日期:2020-04-15
  • 技術成熟度:
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 外觀專利
  • 申請號/專利號 201410193781.0? 
  • 技術(專利)名稱 SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法 
  • 項目單位 攀枝花學院
  • 發明人 霍紅英 
  • 行業類別 電學
  • 技術成熟度
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 劉宇者
  • 發布時間 2020-04-15  
  • 01

    項目簡介

    本發明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,屬于太陽能電池技術領域。該方法包括如下步驟:a、將FTO導電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機基片座上;b、開啟真空抽氣系統抽真空;c、通入氬氣,執行預濺射程序;d、再次執行抽本底真空;e、再次通入氬氣,當真空室內真空度達到2~9×10Pa后,開啟SnS靶材的濺射電源制備SnS薄膜;SnS薄膜制備完成后制備ZnS薄膜;f、重復操作,總共制備2~4個P-N結;g、制備Al薄膜后即得到SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池。本發明方法能夠提高電池光吸收率,即能提高電池光電轉換效率,制備過程穩定、溫度低、能耗低,適于大范圍的工業推廣應用。
    展開
  • 02

    說明書

    1.SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,其特征在于包括如下步驟:
    a、將作為基片的FTO導電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機基片座上;然后再安裝SnS
    靶材、ZnS靶材和Al靶材后關閉磁控濺射機真空室門;
    b、開啟真空抽氣系統抽真空,使本底真空度達到2×10-3Pa以上;
    c、開啟氬氣進氣閥門通入氬氣,使真空室內真空度達到2×10-1Pa時,開啟所有靶材濺射
    電源執行預濺射程序;
    d、預濺射程序結束后,關閉所有靶材電源,關閉氬氣進氣閥,再次抽本底真空至2×10-3Pa
    以上;
    e、再次開啟氬氣進氣閥門通入氬氣,當真空室內真空度達到2~9×10-1Pa后,開啟SnS
    靶材的濺射電源制備SnS薄膜,控制功率密度100~300W/cm2、濺射時間10~30分鐘,薄膜
    厚度50~80nm;SnS薄膜制備完成后制備ZnS薄膜,控制功率密度200~350W/cm2、濺射時間
    10~30分鐘,薄膜厚度50~80nm;
    f、重復執行步驟e中制備SnS薄膜和ZnS薄膜的程序,總共制備2~4個由SnS薄膜和
    ZnS薄膜組成的P-N結;
    g、P-N結制備完成后制備Al薄膜,控制功率密度100~250W/cm2、濺射時間10~15分
    鐘,濺射厚度70~100nm,Al薄膜制備完成后即得到SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池。
    2.根據權利要求1所述的SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,其特征在于:步驟a
    中,FTO導電玻璃的清洗是依次用去離子水、丙酮、無水乙醇在超聲波條件下進行清洗。
    3.根據權利要求1所述的SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,其特征在于:步驟c
    中,預濺射程序設定為從起輝開始至設定功率時間為10分鐘,到達設定功率后維持30分鐘。
    展開

專利技術附圖

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